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潔凈室中的完整過(guò)濾系統(tǒng)，通常由預(yù)過(guò)濾器和HEPA或ULPA過(guò)濾器段組成。預(yù)過(guò)濾器的效率較低，無(wú)法去除空氣中來(lái)自外部環(huán)境的相對(duì)較大的顆粒。向清潔區(qū)域供應(yīng)空氣的空氣系統(tǒng)應(yīng)配備HEPA或ULPA過(guò)濾器，以防止細(xì)小污染物，以達(dá)到一定的空氣質(zhì)量水平。在這種應(yīng)用中，過(guò)濾材料的低壓和高容塵能力對(duì)預(yù)過(guò)濾器很重要，而高效率一致性對(duì)HEPA或ULPA過(guò)濾器更為重要。